一般單筒顯微鏡金相顯微鏡僅需配用單色光，并在試樣上裝置標(biāo)準(zhǔn)平面玻璃就可以做多光束干涉的金相研究。多光束干涉顯微鏡的光程如圖3，它與一般金相顯微鏡的構(gòu)造基本相同。標(biāo)準(zhǔn)平面玻璃靠樣品的一面涂有半透明的銀（或鋁）的薄膜，又稱為干涉試片，干涉試片可以是平面的，或不同曲率的。如MeF顯微鏡備有六個(gè)具有不同反射能力及不同曲率半徑的試片，使用時(shí)要根據(jù)觀察物的表面曲率及對(duì)光的吸收能力進(jìn)行選擇。見表1：有強(qiáng)反射能力的試樣（如金屬），應(yīng)選用涂銀半透明的試片；當(dāng)物體為凹入形狀時(shí)，應(yīng)選表面為凸起形狀的試片，目的是使干涉試片與物體盡可能靠近。
為了得到細(xì)而清晰的干涉條紋，發(fā)展了多光束干涉顯微鏡。即使光線在兩平行（或近乎平行）的平面問多次反射而產(chǎn)生多光束干涉。以顯示磨面上更微小的高度差。
多光束干涉顯微裝置要求入射光為單色強(qiáng)平行光，紫外物鏡且盡可能垂直入射試樣表面；干涉平面必須非常均勻地噴鍍一層金屬薄膜，并且鍍層應(yīng)具有高反射系數(shù)及低吸收率；兩反射面問的距離愈小愈好，zui大不超過(guò)入射光波長(zhǎng)的幾倍。
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